碳化硅外延设备属半导体设备领域,占据第三代半导体产业链上游关键环节。我司碳化硅外延设备采用自主创新的结构设计,同时兼容6英寸、4英寸外延片生长,是一款工艺指标优异、耗材成本低、维护频率低的中国首台完全自主创新的碳化硅外延设备。
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关于我们
深圳市纳设智能装备股份有限公司(以下简称”纳设智能”)成立于2018年10月,坐落于深圳市光明区留学人员创业园。公司主要从事第三代半导体碳化硅、新型光伏材料、纳米材料等先进材料领域所需的薄膜沉积设备等高端设备的研发、生产和销售。公司以“成为全球先进材料制造设备引领者”为愿景,始终坚持自主创新,团队由来自剑桥大学的博士、研究员和资深行业专家为基础,打造了一支对薄膜沉积设备等高端装备以及先进材料制造工艺均具有丰富技术积累和深入理解的核心技术团队。公司于2020年被评定为具有高成长性的“国家高新技术企业”,2023年荣获深圳市“专精特新”中小企业认定,也认证有ISO9001质量管理体系及售后服务体系。
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