纳设智能荣获2025行家极光奖及企创融通汇优秀解决方案!
发布时间:
2025-12-05 00:00
1 荣膺极光奖
12月4日晚,“2025行家极光奖”颁奖典礼在深圳正式拉开帷幕,数百家 SiC&GaN 产业链企业代表齐聚,共同见证产业新风采、新进步。作为第三代半导体领域的行业风向标,行家说极光奖聚焦突破性技术与标杆产品,是行业创新力与市场价值的衡量标尺。
本次评选中,纳设智能自主研发的全自动8英寸双腔碳化硅外延设备脱颖而出,成功斩获“2025年度创新产品奖”,技术实力与产品价值获得产业界的高度认可。


这款获奖设备堪称行业升级关键装备,在架构设计、成本控制与兼容性上实现多重突破。其采用独立双腔体架构,独创的反应腔室设计让客户运营成本大大降低,同时创新性融合多区独立进气控制与智能温场系统,实现6英寸与8英寸晶圆的高兼容性生产。在工艺性能上,外延层厚度均匀性稳定在1%以内,浓度掺杂均匀性也达1%以内,缺陷密度≤0.1cm-2,达到行业先进水平。

自成立以来,纳设智能始终深耕第三代半导体装备领域,从首台碳化硅外延设备交付到8英寸双腔系统量产,实现了关键技术的自主可控与持续突破。此次获奖不仅是对企业创新实力的肯定,更是对团队多年深耕技术、务实攻坚的认可与激励。
2 APCSCRM 2025专题优秀案例
第六届亚太碳化硅及相关材料国际会议(APCSCRM 2025)于11月25-27日在河南郑州隆重举行。会议期间,纳设智能凭借“8英寸碳化硅外延设备--双腔协调量产解决方案”成功入选中国科协企业创新服务中心“2025企创融通汇”专题优秀解决方案。
这一解决方案以其独特的双腔协同架构,实现了碳化硅外延生长在生产效率与成本控制方面的突破,为大尺寸碳化硅的产业化应用提供了新方案,获得了产业界的殷勤关注。

会议期间,纳设智能战略及市场总监萧利台先生在“金刚石专题论坛”上,以《双擎驱动,纳设智能智造破局》为主题分享了纳设智能在金刚石镀膜以及碳化硅外延生长的设备方案。

从荣获行业奖项到产品入选优秀解放方案,接连获得的荣誉是对纳设智能产品技术的肯定。未来,纳设智能将持续以技术创新为核心,深化薄膜沉积设备业务,持续推进产品技术迭代升级,深化与产业链上下游的协同合作,以更可靠的装备解决方案赋能先进材料的发展。
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