碳化硅化学气相沉积外延设备
碳化硅外延设备属半导体设备领域，占据第三代半导体产业链上游关键环节。我司碳化硅外延设备采用自主创新的结构设计，同时兼容6英寸、4英寸外延片生长，是一款工艺指标优异、耗材成本低、维护频率低的中国首台完全自主创新的碳化硅外延设备。
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碳化硅外延片主要应用
新能源汽车
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充电桩
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光伏
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半导体设备
碳化硅外延设备
第三代半导体外延设备
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