(1) MOCVD设备：用于可控、批量制备新型二维材料的MOCVD设备 (2) CVD设备：根据客户提出的具体需求，量身定制CVD设备，主要用于合成科研所需的石墨烯、TMD、纳米材料等二维材料。 (3) 公司研发团队掌握的其他半导体设备技术可用于多种材料的ALD、PECVD、MOCVD及刻蚀设备。
