碳化硅外延设备属半导体设备领域,占据第三代半导体产业链上游关键环节。我司碳化硅外延设备采用自主创新的结构设计,同时兼容6英寸、4英寸外延片生长,是一款工艺指标优异、耗材成本低、维护频率低的中国首台完全自主创新的碳化硅外延设备。
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深圳市纳设智能装备股份有限公司成立于2018年10月,坐落在深圳市光明区留学人员创业园。公司以成为全球先进材料制造设备引领者为愿景,以提升中国先进材料制造能力为使命,致力于第三代半导体、石墨烯等先进材料制造装备的研发、生产、销售和应用推广。
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