产品与技术
PRODUCTS AND TECHNOLOGY
智能制造
兼容AGV&天车，可实现全自动化配套；
配置NH3、N2、TMAL模块，可自由组合，满足不同产品规格。
自主安全
通过SEMI认证，符合行业标准和规范；
具备自主知识产权，具有独特的技术优势。
纳设智能碳化硅外延单腔系统采用水平热壁的技术路线实现外延生长，独创的反应腔室设计配备可独立控制的多区进气系统，显著提升了外延片的均匀性，同时降低外延缺陷率。
反应腔室
石墨腔室配件数量少，结构更简化；
腔室进气/传片方式独特，减少外延掉落物。
尾气系统
维护仅打磨平板石墨件，方便配件的清理操作；
维护无需分离传输腔，只打开腔室后端法兰，维护简易。
气体系统
5区进气，乙烯/三氯氢硅每区独立控制；
各区碳硅比独立控制，调整更灵活。
晶圆控制
工艺中晶圆转速可精确调控；
工艺中晶圆高度位置精确调控。
纳设智能的6英寸碳化硅外延设备，采用水平热壁技术路线实现单片式生长，兼容6英寸、4英寸外延片，设备性能可靠，已稳定量产。
精确：气路独立可控
● 精湛：工艺指标优异
● 低耗：耗材成本更低
● 省时：维护频次更低
● 进阶：NP型灵活切换